日立熱場發(fā)射掃描電鏡SU7000:
此次推出的SU7000采用全新設(shè)計(jì)的探測器,使得對(duì)二次電子信號(hào)、背散射電子信號(hào)的檢測以及分離能力大大提升。以前我們要根據(jù)獲得的信號(hào)來調(diào)整樣品與透鏡之間的距離(工作距離/以下簡稱WD),以設(shè)置最 佳的觀察與分析條件,而SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測器系統(tǒng),可在不改變WD的條件下更高效地接收各種信號(hào),縮短了樣品觀察和分析的時(shí)間,提高了測試效率。而且,SU7000還配置了可同時(shí)6通道顯示界面(前代機(jī)型只能同時(shí)顯示4通道),進(jìn)一步升級(jí)SEM控制系統(tǒng),大幅提高了信號(hào)獲取速度,由此實(shí)現(xiàn)了樣品的高通量觀察。它還標(biāo)配超大樣品倉,增設(shè)了附件接口,可適用于各種樣品的觀察與分析。
日立熱場發(fā)射掃描電鏡SU7000創(chuàng)新點(diǎn):
SU7000配置了可同時(shí)6通道顯示界面(前代機(jī)型只能同時(shí)顯示4通道),進(jìn)一步升級(jí)SEM控制系統(tǒng),大幅提高了信號(hào)獲取速度,由此實(shí)現(xiàn)了樣品的高通量觀察。
標(biāo)配超大樣品倉,增設(shè)了附件接口,可適用于各種樣品的觀察與分析;
SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測器系統(tǒng),可在不改變工作距離的條件下更高效地接收各種信號(hào),縮短了樣品觀察和分析的時(shí)間,提高了測試效率。
主要特點(diǎn):
1.在相同WD的條件下,可同時(shí)實(shí)現(xiàn)二次電子、背散射電子觀察與X射線熒光分析
2.可同時(shí)實(shí)現(xiàn)6通道檢測與顯示
3.在最 大像素10240 x 7680時(shí),也可獲得圖像數(shù)據(jù)
4.同級(jí)別*設(shè)備中最 多的可配置18個(gè)附件接口5.支持低至300Pa的低真空模式(選配);*空間分辨率在1 nm/1 kV以下